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JX-MSB高頻脈沖磁控濺射/偏壓多功能鍍膜電源
20kw,30kw,40kw等多型號可選,濺射偏壓雙模式,最大頻率可達150kHz,對標霍廷格4020,可完美匹配各種PVD工藝
參數指標
指標 參數
電壓范圍 265VAC ~ 475VAC 三相五線制VAC
頻率范圍 45Hz ~ 66Hz
指標 參數
平均功率
  • 負脈沖20kW,30kW,40kW多型號可選
  • 正脈沖3.5kW
輸出波形
  • 負向直流
  • 正向直流
  • 負向單極脈沖
  • 正向單極脈沖
  • 非對稱雙極脈沖
輸出電壓 +(1V ~ 120V) , -(50V ~ 1000V)
輸出平均電流
  • 負脈沖 0A ~ 68A
  • 正脈沖 0A ~ 30A
輸出頻率 40KHz ~ 150KHz
脈沖占空比 5%~95%
指標 參數
THD(諧波失真) <5%(50% ~ 100%負載)
功率因數 > 99%
通訊接口 RS-485, 以太網
通訊協(xié)議 modbus(標配),Profibus(選配),EtherCAT(選配)
散熱 風冷、水冷混合
MTBF (平均無故障間隔時間) ≥100000H
電源保護 過壓、過流、過荷、功率器件損壞、電源過熱、負載過熱、門禁、工作連鎖
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