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Ion Implantation
精新電源依托十多年在粒子加速器中積累的經驗,沉淀出了數(shù)款不同規(guī)格的離子注入電源供工業(yè)級用戶選用,可完美適配市面上廣大的離子注入設備。
JX-PI-S單極脈沖離子注入
單極脈沖,峰值功率可達10MW
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JX-PI-D雙極脈沖離子注入
雙極脈沖,峰值功率可達10MW
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